產品特色

?  設計緊湊，可放置在手套箱內；

?  4.3英寸彩色觸屏控制，人機界面；

?  一體加工成型的HDPE內腔，耐腐蝕，易清潔；內腔壁采用凹面設計，有效防濺；

?  高級PLC全自動程序控制，可編程；

?  帶真空度安全互鎖檢測功能；帶蓋子安全互鎖檢測功能；

?  具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能。

?  不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕；

?  帶一路自動點膠接口，可升級自動點膠系統；

?  可設置用戶密碼保護功能；

?  配置可調基座，方便調節(jié)水平；

性能參數

?  適用晶元尺寸范圍：?5~160mm；

?  旋涂速度：100~12000rpm；轉速分辨率：1rpm；

?  旋涂加速度：100-30000rpm/s；

?  最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

?  內腔直徑220mm，內腔壁采用凹面防濺設計；

?  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

?  電源輸入：AC200-230V；